OHT(空中走行式搬運(yùn)車)是指能夠在空中軌道上行駛，并能夠通過(guò)皮帶傳動(dòng)起重機(jī)構(gòu)“直接”進(jìn)入保管設(shè)備或工藝設(shè)備的裝卸口，應(yīng)用于工序區(qū)內(nèi)部運(yùn)輸，主要搬運(yùn)晶圓，也應(yīng)用于工序區(qū)間或工廠間運(yùn)輸。
| 產(chǎn)品范圍 | FOUP, FOSB, Megazine, Tray, Cassette |
| 額定負(fù)載 | Max20Kg |
| 運(yùn)行速度 | 直線段 3.5m/sec, 轉(zhuǎn)彎段 0.7m/sec |
| 提升速度 | 0.9m/sec |
| 轉(zhuǎn)彎半徑 | R500mm (45?, 90 ?) |
| 潔凈環(huán)境 | Class 100 - Class 1000 |
智佳能服務(wù)熱線：
0755-28179806
