STK Foup存儲(chǔ)系統(tǒng)

設(shè)備說(shuō)明

FOUP Stocker 是半導(dǎo)體工廠(chǎng)的自動(dòng)保管倉(cāng)庫(kù)，具備多層存放空間，主要用于半導(dǎo)體工廠(chǎng)的 FOUP 自動(dòng)化搬送、存儲(chǔ)，實(shí)現(xiàn)晶圓在工藝之間的流轉(zhuǎn)。

設(shè)備特點(diǎn)

設(shè)備參數(shù)

產(chǎn)品范圍	FOUP, FOSB, Megazine, Tray, Cassette
額定負(fù)載	Max20Kg
運(yùn)動(dòng)控制	X軸、Z軸、R軸、貨叉伸縮軸
運(yùn)動(dòng)速度	X軸 120m/min，Z軸120m/min
貨叉周期	2sec
潔凈環(huán)境	Class 100 - Class 1000