FOUP Stocker 是半導(dǎo)體工廠(chǎng)的自動(dòng)保管倉(cāng)庫(kù),具備多層存放空間,主要用于半導(dǎo)體工廠(chǎng)的 FOUP 自動(dòng)化搬送、存 儲(chǔ),實(shí)現(xiàn)晶圓在工藝之間的流轉(zhuǎn)。
| 產(chǎn)品范圍 | FOUP, FOSB, Megazine, Tray, Cassette |
| 額定負(fù)載 | Max20Kg |
| 運(yùn)動(dòng)控制 | X軸、Z軸、R軸、貨叉伸縮軸 |
| 運(yùn)動(dòng)速度 | X軸 120m/min,Z軸120m/min |
| 貨叉周期 | 2sec |
| 潔凈環(huán)境 | Class 100 - Class 1000 |