無人搬送車可通過高度精確的導航系統(tǒng)在復雜的路線上靈活運動,將載體運往工藝設備。設備上裝配有多關節(jié)的機械臂,能夠在地面上行駛,可“直接”進入保管設備及工藝設備。
| 產品范圍 | FOUP, FOSB, Megazine, Tray, Cassette |
| 額定負載 | Max20Kg |
| 貨倉數(shù)量 | 4、8pcs,可定制 |
| 運行速度 | Max60m/min |
| 裝載時間 | 25-30sec |
| 潔凈環(huán)境 | Class 100 - Class 1000 |