Tower Lift 樓層提升系統(tǒng)

設(shè)備說(shuō)明

針對(duì)在半導(dǎo)體工程中有層間或段差區(qū)域, 把FOUP上下運(yùn)送的設(shè)備。

設(shè)備特點(diǎn)

設(shè)備參數(shù)

產(chǎn)品范圍	FOUP, FOSB, Megazine, Tray, Cassette
額定負(fù)載	Max20Kg
運(yùn)行速度	Max250m/min
輸送高度	Max40m
潔凈環(huán)境	Class 100 - Class 1000